发布时间:
2017-10-20 15:26:22
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简单说的话,锆靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、铬、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
主要应用在:
1、微电子领域
2、平面显示器用靶材
3、存储技术用靶材等
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