在磁控溅射工艺中,钛靶是最常用的靶材之一,钛靶不仅仅附着力好,采用钛靶加合适的反应气体还可以做出各种各样漂亮的颜色,下面就让我来扒一扒钛都具有那些特性和优点。
1.首先肯定是钛靶可以做出很多种颜色呢,比如钛灰色,枪灰色,黑色,仿金色,咖啡色,蓝色,紫色等等还有很多,大家有什么新颜色可以留言补充。
2.其次钛附着力很好,对于陶瓷和玻璃基片也具有非常好的附着力,所以钛可用于附着力较差膜材的底膜材料。钛也可用作薄膜电阻或薄膜电容器的制作材料。
3.钛对活性气体(如、CO、CO2、N2、O2以及650℃以上的水蒸气)的吸附性很强,蒸发在汞壁上的新鲜Ti膜形成一个高吸附能力的表面,有着优异的吸气性能,几乎能和除惰性气体以外的所有气体发生化学反应。这一性质使得Ti在超高真空抽气系统中作为吸气剂而得到广泛的应用,如用在钛升华泵、溅射离子泵中等。
4.耐腐蚀性能,钛是一种非常活泼的金属,其平衡电位很低,在介质中的热力学腐蚀倾向大。但实际上钛在许多介质中很稳定,如钛在氧化性、中性和弱还原性等介质中是耐腐蚀的。这是因为钛和氧有很大的亲和力,在空气中或含氧的介质中,钛表面生成一层致密的、附着力强、惰性大的氧化膜,保护了钛基体不被腐蚀。即使由于机械磨损也会很快自愈或重新再生。这表明了钛是具有强烈钝化倾向的金属。介质温度在315℃以下钛的氧化膜始终保持这一特性钛具有金属光泽,有延展性。密度为4.5克/立方厘米。熔点1660±10℃。沸点3287℃。化合价+2、+3和+4。电离能为6.82电子伏特。钛的主要特点是密度小,机械强度大,容易加工。钛的塑性主要依赖于纯度。钛越纯,塑性越大。有良好的抗腐蚀性能,不受大气和海水的影响。在常温下,不会被7%以下盐酸、5%以下硫酸、硝酸、王水或稀碱溶液所腐蚀;只有氢氟酸、浓盐酸、浓硫酸等才可对它作用。
5.钛具有“亲生物”性。在人体内,能抵抗分泌物的腐蚀且无毒,对任何杀菌方法都适应。因此被广泛用于制医疗器械,制人造髋关节、膝关节、肩关节、胁关节、头盖骨,主动心瓣、骨骼固定夹。当新的肌肉纤维环包在这些“钛骨”上时,这些钛骨就开始维系着人体的正常活动,钛是无磁性金属,在很大的磁场中也不会被磁化,无毒且与人体组织及血液有好的相溶性,所以医用钛棒,医用钛板,被医疗界采用。
6.耐热性能好,耐低温性能好。
新型钛合金可在600℃或更高的温度下长期使用。钛合金TA7钛棒(Ti-5Al-2.5Sn),TC4钛棒(Ti-6Al-4V)和Ti-2.5Zr-1.5Mo等为代表的低温钛合金,其强度随温度的降低而提高,但塑性变化却不大。在-196-253℃低温下保持较好的延性及韧性,避免了金属冷脆性,是低温容器,贮箱等设备的理想材料。
7.抗阻尼性能强
金属钛箔受到机械振动、电振动后,与钢、铜金属相比,其自身振动衰减时间最长。利用钛的这一性能可作音叉、医学上的超声粉碎机振动元件和高级音响扬声器的振动薄膜等。
8.抗拉强度与其屈服强度接近
钛的这一性能说明了其屈强比(抗拉强度/屈服强度)高,表示了金属钛材料在成形时塑性变形差。由于钛的屈服极限与弹性模量的比值大,使钛成型时的回弹能力大。
9.换热性能好
金属钛的导热系数虽然比碳钢和铜低,但由于钛优异的耐腐蚀性能,所以壁厚可以大大减薄,而且表面与蒸汽的换热方式为滴状冷凝,减少了热组,钛表面不结垢也可减少热阻,使钛的换热性能显著提高。
10.弹性模量低
钛的弹性模量在常温时为106.4GPa,为钢的57%。
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